{"id":6489,"date":"2024-11-22T09:41:03","date_gmt":"2024-11-22T08:41:03","guid":{"rendered":"https:\/\/rhosonics.com\/?p=6489"},"modified":"2024-12-04T11:55:06","modified_gmt":"2024-12-04T10:55:06","slug":"measuring-cmp-slurry-with-the-rhosonics-ccm","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/rhosonics.com\/es\/insight\/blog\/medicion-de-purines-cmp-con-el-rhosonics-ccm\/","title":{"rendered":"Medici\u00f3n de lodos CMP con el Rhosonics CCM"},"content":{"rendered":"

En el vertiginoso mundo de la fabricaci\u00f3n de semiconductores, la precisi\u00f3n y la eficacia son primordiales. El pulido qu\u00edmico-mec\u00e1nico (CMP) es un proceso cr\u00edtico que garantiza la producci\u00f3n de obleas de silicio de alta calidad, los componentes b\u00e1sicos de la electr\u00f3nica moderna. El control de la composici\u00f3n de la lechada CMP durante este proceso es esencial para lograr la calidad deseada de la oblea.<\/p>\n

Los retos del control de los purines CMP<\/strong><\/p>\n

El lodo CMP es una mezcla compleja de agua, part\u00edculas abrasivas y productos qu\u00edmicos. Su composici\u00f3n exacta puede influir significativamente en el proceso de pulido y, en \u00faltima instancia, en la calidad final de la oblea. Por lo tanto, la supervisi\u00f3n en tiempo real de la composici\u00f3n de la lechada es crucial para mantener la coherencia y optimizar el proceso de CMP.<\/p>\n

Los m\u00e9todos tradicionales de control de los lodos de CMP suelen consistir en muestreos fuera de l\u00ednea y an\u00e1lisis de laboratorio, que no s\u00f3lo consumen mucho tiempo y mano de obra, sino que adem\u00e1s no reflejan con precisi\u00f3n las condiciones en tiempo real de los lodos durante el proceso de pulido. Como resultado, los ajustes basados en estos an\u00e1lisis pueden llegar demasiado tarde, lo que conlleva una p\u00e9rdida de recursos y unos resultados que no son los \u00f3ptimos.<\/p>\n

Presentaci\u00f3n de la tecnolog\u00eda Rhosonics<\/strong><\/p>\n

Rhosonics ofrece una soluci\u00f3n innovadora para la monitorizaci\u00f3n en l\u00ednea y en tiempo real de los lodos CMP. Nuestra innovadora tecnolog\u00eda utiliza una combinaci\u00f3n \u00fanica de mediciones ultras\u00f3nicas y de conductividad para proporcionar datos precisos y continuos sobre la composici\u00f3n de la lechada. Esta informaci\u00f3n en tiempo real permite a los fabricantes de semiconductores mantener el control sobre el proceso CMP, lo que se traduce en una mejora de la calidad de las obleas, una reducci\u00f3n de los residuos y una mayor eficiencia.<\/p>\n<\/div>

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Nuestra Medidor de concentraci\u00f3n qu\u00edmica (CCM)<\/strong><\/a> est\u00e1 dise\u00f1ado para funcionar en l\u00ednea, permitiendo que los lodos fluyan a trav\u00e9s del sistema antes de llegar a las m\u00e1quinas pulidoras. Esta configuraci\u00f3n proporciona una ventaja significativa sobre los m\u00e9todos de muestreo tradicionales, ya que permite la supervisi\u00f3n y el ajuste continuos. Con el CCM, los fabricantes obtienen informaci\u00f3n sobre la densidad, la concentraci\u00f3n y los s\u00f3lidos en suspensi\u00f3n de los lodos en tiempo real, capacidades que antes se consideraban inalcanzables.<\/p>\n

Entender la medici\u00f3n ultras\u00f3nica<\/strong><\/p>\n

El sistema de ultrasonidos del CCM de Rhosonics funciona mediante una configuraci\u00f3n de reflexi\u00f3n con dos sensores situados uno frente al otro. Un elemento piezoel\u00e9ctrico que funciona a 2 MHz genera ondas ultras\u00f3nicas. Cuando estas ondas se encuentran con el lodo, parte del ultrasonido se refleja en la interfaz de fase, mientras que parte de la energ\u00eda es absorbida por el lodo. Este comportamiento de reflexi\u00f3n sirve como \"huella dactilar\" del lodo, ya que cada l\u00edquido tiene su propia velocidad del sonido. La diferencia de energ\u00eda de la se\u00f1al entre los dos materiales se cuantifica como coeficiente de reflexi\u00f3n (R), a partir del cual se calcula la impedancia ac\u00fastica del l\u00edquido mediante la f\u00f3rmula de Sir Rayleigh.<\/p>\n

La velocidad del sonido, calculada a partir del tiempo de recorrido de la se\u00f1al de ultrasonidos, es otro par\u00e1metro esencial. Representa el tiempo que tarda la se\u00f1al en atravesar el medio desde el emisor hasta el receptor. Este valor es indicativo de la composici\u00f3n \u00fanica del lodo, lo que permite evaluar la concentraci\u00f3n y el tipo de part\u00edculas presentes. Mediante la determinaci\u00f3n de la impedancia ac\u00fastica y la velocidad del sonido, podemos calcular con precisi\u00f3n la densidad aparente del lodo, proporcionando un perfil en tiempo real de su composici\u00f3n.<\/p>\n

Este m\u00e9todo de medici\u00f3n por ultrasonidos cambia las reglas del juego de la supervisi\u00f3n de CMP, ya que proporciona informaci\u00f3n que va m\u00e1s all\u00e1 de los meros niveles de concentraci\u00f3n. Tambi\u00e9n permite a Rhosonics medir propiedades que las herramientas de la competencia no pueden medir, lo que convierte al CCM en el \u00fanico dispositivo del mercado capaz de realizar un an\u00e1lisis tan exhaustivo en tiempo real.<\/p>\n

Medici\u00f3n de la conductividad para una mayor precisi\u00f3n<\/strong><\/p>\n

Adem\u00e1s de la medici\u00f3n ultras\u00f3nica, el sistema de conductividad del CCM cuenta con una bobina motriz y una bobina sensora. La bobina motriz, alimentada con corriente alterna (CA), genera un campo magn\u00e9tico que induce corrientes en el fluido conductor. Estas corrientes producen un campo magn\u00e9tico secundario que detecta la bobina sensora. La intensidad de la se\u00f1al inducida se correlaciona con la conductividad del fluido y se convierte en un valor de conductividad.<\/p>\n

Los datos de conductividad complementan las mediciones ultras\u00f3nicas proporcionando informaci\u00f3n sobre la composici\u00f3n qu\u00edmica del lodo, incluida la concentraci\u00f3n de productos qu\u00edmicos espec\u00edficos como el per\u00f3xido de hidr\u00f3geno (H\u2082O\u2082). A diferencia de los m\u00e9todos tradicionales, que a menudo se centran en un par\u00e1metro a la vez, el CCM de Rhosonics captura m\u00faltiples aspectos de la composici\u00f3n de la lechada simult\u00e1neamente, lo que permite una comprensi\u00f3n mucho m\u00e1s completa del proceso CMP.<\/p>\n

Ventajas exclusivas de la tecnolog\u00eda Rhosonics<\/strong><\/p>\n

La CCM de Rhosonics ofrece varias ventajas que la convierten en un activo inestimable para los fabricantes de semiconductores:<\/p>\n