{"id":4198,"date":"2024-07-12T14:09:04","date_gmt":"2024-07-12T12:09:04","guid":{"rendered":"https:\/\/rhosonics.com\/?p=4198"},"modified":"2024-07-12T14:23:44","modified_gmt":"2024-07-12T12:23:44","slug":"concentration-measurement-in-the-semiconductor-industry","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/rhosonics.com\/fr\/insight\/blog\/mesure-de-la-concentration-dans-lindustrie-des-semi-conducteurs\/","title":{"rendered":"Mesure de la concentration dans l'industrie des semi-conducteurs"},"content":{"rendered":"

Depuis quelques ann\u00e9es, la semi-conducteur<\/u><\/a> L'industrie des semi-conducteurs a souffert d'un manque d'offre. En raison de la nature des industries de haute technologie qui n\u00e9cessitent des investissements importants, les semi-conducteurs n'ont pas \u00e9t\u00e9 en mesure de r\u00e9pondre \u00e0 la demande pendant un certain temps. Les clients veulent utiliser davantage d'appareils intelligents dans leur vie quotidienne et s'attendent \u00e0 ce qu'ils soient plus rapides et plus puissants. Les secteurs de la communication, de l'\u00e9lectronique grand public, de l'automobile et de l'informatique ont tous besoin de semi-conducteurs plus nombreux et de meilleure qualit\u00e9. En outre, la crise COVID-19 a perturb\u00e9 toutes les cha\u00eenes d'approvisionnement, limitant la production de semi-conducteurs. Par cons\u00e9quent, les producteurs cherchent d'autres moyens d'am\u00e9liorer leur production afin de r\u00e9pondre \u00e0 la demande. Pour en savoir plus, consultez le livre blanc \"Raisons de mesurer la concentration dans l'industrie des semi-conducteurs\".<\/p>\n<\/div>

Mesure de la concentration<\/h5><\/h1><\/div>

Dans chaque processus de fabrication, la technologie peut faire la diff\u00e9rence. L'introduction de nouvelles technologies pourrait am\u00e9liorer les taux de production et l'efficacit\u00e9 des processus. L'une de ces technologies est l'\u00e9quipement de surveillance de la concentration qui est utilis\u00e9 pour observer les produits chimiques en temps r\u00e9el. Il est important de mesurer les concentrations de produits chimiques avec la plus grande pr\u00e9cision possible dans le processus de fabrication. semi-conducteur<\/a><\/u> L'industrie chimique est une industrie de pointe, car elle fait un usage intensif de produits chimiques. Les informations relatives au processus pourraient \u00eatre analys\u00e9es afin d'apporter des am\u00e9liorations au processus. Lorsqu'il est utilis\u00e9 en combinaison avec le contr\u00f4le des processus, le syst\u00e8me peut agir directement si des changements se produisent dans le processus. L'analyseur contribue \u00e0 maintenir les bonnes concentrations de produits chimiques (dans les valeurs souhait\u00e9es) pour que le processus fonctionne dans des conditions optimales. Cela permet d'\u00e9viter les temps d'arr\u00eat impr\u00e9vus et d'am\u00e9liorer la qualit\u00e9 du produit final. Les entreprises peuvent donc accro\u00eetre l'efficacit\u00e9 de leur cha\u00eene de production en r\u00e9duisant les taux de d\u00e9fauts.<\/p>\n<\/div>

Les d\u00e9fis de la photolithographie<\/h5><\/h1><\/div>

Dans le processus de production des semi-conducteurs, la mesure de la concentration est importante pour \u00e9viter les probl\u00e8mes lors du nettoyage ou des processus de gravure humide.<\/p>\n

\u00c9tape de nettoyage<\/h6>\n

Apr\u00e8s l'\u00e9tape du processus, les mat\u00e9riaux utilis\u00e9s doivent \u00eatre nettoy\u00e9s avec des produits chimiques afin d'\u00e9viter toute contamination lors de l'\u00e9tape suivante. L'objectif de l'\u00e9tape de nettoyage est de se d\u00e9barrasser des r\u00e9sidus des \u00e9tapes pr\u00e9c\u00e9dentes qui pourraient affecter les performances des \u00e9tapes suivantes. Les produits chimiques de nettoyage doivent avoir les concentrations ad\u00e9quates pour nettoyer efficacement la surface de la plaquette. Dans le cas contraire, les plaquettes peuvent contenir des mati\u00e8res organiques\/inorganiques ind\u00e9sirables. Les gaufrettes qui n'ont pas \u00e9t\u00e9 correctement nettoy\u00e9es n'auront pas la qualit\u00e9 souhait\u00e9e lorsque la cha\u00eene de production sera termin\u00e9e. Par cons\u00e9quent, le produit sera consid\u00e9r\u00e9 comme d\u00e9fectueux ou vendu comme une puce moins performante.<\/p>\n

\u00c9tape de d\u00e9veloppement<\/h6>\n

Les plaquettes expos\u00e9es sont d\u00e9velopp\u00e9es dans des bains d'immersion ou par pulv\u00e9risation. La zone expos\u00e9e sera enlev\u00e9e ou restera en fonction du type de r\u00e9serve (n\u00e9gative ou positive). Cette \u00e9tape est importante pour cr\u00e9er un motif de r\u00e9serve parfait afin de contr\u00f4ler la partie du substrat qui sera grav\u00e9e. Le motif de la r\u00e9serve positive ou de la r\u00e9serve n\u00e9gative doit \u00eatre le m\u00eame que celui pr\u00e9vu. Dans le cas contraire, les mauvaises zones du substrat seront enlev\u00e9es lors de l'\u00e9tape suivante, ce qui se traduira par un produit inefficace.
\nComme \u00e0 chaque \u00e9tape de la production d'un semi-conducteur, la pr\u00e9cision est essentielle pour obtenir les r\u00e9sultats souhait\u00e9s au stade du d\u00e9veloppement. La concentration du r\u00e9v\u00e9lateur de r\u00e9sine (par exemple TMAH) doit rester dans une plage optimale afin d'\u00e9liminer efficacement la r\u00e9sine dans la zone pr\u00e9vue.<\/p>\n

Par exemple, une solution typique de TMAH doit \u00eatre maintenue \u00e0 une concentration comprise entre 2,38% et 2,62%. Un analyseur pr\u00e9cis et en temps r\u00e9el permet de contr\u00f4ler les propri\u00e9t\u00e9s chimiques et d'assurer un fonctionnement efficace.<\/p>\n

Etape de gravure humide<\/h6>\n

La gravure humide (ou gravure isotropique) est un moyen rapide de graver des mat\u00e9riaux. Dans le processus de gravure humide, diff\u00e9rents types de produits chimiques sont utilis\u00e9s pour cr\u00e9er un motif sur le substrat d'un mat\u00e9riau (g\u00e9n\u00e9ralement une plaquette de silicium). La tendance \u00e9tant aux puces plus petites et plus compactes, le d\u00e9fi de cette \u00e9tape du processus consiste \u00e0 cr\u00e9er avec pr\u00e9cision des motifs plus complexes sur le substrat en utilisant les concentrations chimiques ad\u00e9quates.<\/p>\n<\/div>

Solution pour r\u00e9soudre les probl\u00e8mes de processus<\/h5><\/h1><\/div>

Pour \u00e9viter une gravure et un nettoyage inefficaces des substrats, il est essentiel de contr\u00f4ler la concentration des produits chimiques. L'usine \u00e9vitera d'utiliser plus de produits chimiques que pr\u00e9vu. Une utilisation moindre de produits chimiques permet de r\u00e9duire les co\u00fbts de production variables et de disposer d'installations plus respectueuses de l'environnement. Le rapport de concentration peut \u00eatre v\u00e9rifi\u00e9 en temps r\u00e9el par des instruments de mesure pour s'assurer que la solution est exactement le m\u00e9lange souhait\u00e9.<\/p>\n<\/div>

Technologie Rhosonics<\/h5><\/h1><\/div>

La technologie ultrasonique de Rhosonics<\/u><\/a> permet de mieux surveiller le processus en contr\u00f4lant simultan\u00e9ment plusieurs concentrations chimiques en temps r\u00e9el. Le choix de la technologie d\u00e9pend de la quantit\u00e9 de concentrations dans une solution chimique qui doit \u00eatre mesur\u00e9e. Rhosonics peut atteindre une pr\u00e9cision de mesure allant jusqu'\u00e0 \u00b1 0,0001 wt%.<\/p>\n<\/div>

Conclusion<\/h5><\/h1><\/div>

Vous savez maintenant pourquoi la mesure de la concentration est importante dans l'industrie des semi-conducteurs. Nous savons que chaque site de production est confront\u00e9 \u00e0 ses propres d\u00e9fis en termes de surveillance et de contr\u00f4le des processus. Notre objectif est de couvrir les d\u00e9fis les plus courants en mati\u00e8re de solutions chimiques dans l'industrie des semi-conducteurs. Si vous souhaitez en savoir plus sur nos produits, d\u00e9velopp\u00e9s pour l'industrie des semi-conducteurs, veuillez cliquer sur le lien suivant nous contacter<\/a>. <\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

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