{"id":6489,"date":"2024-11-22T09:41:03","date_gmt":"2024-11-22T08:41:03","guid":{"rendered":"https:\/\/rhosonics.com\/?p=6489"},"modified":"2024-12-04T11:55:06","modified_gmt":"2024-12-04T10:55:06","slug":"measuring-cmp-slurry-with-the-rhosonics-ccm","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/rhosonics.com\/fr\/insight\/blog\/mesure-de-la-boue-de-cmp-avec-le-rhosonics-ccm\/","title":{"rendered":"Mesure de la boue de CMP avec le Rhosonics CCM"},"content":{"rendered":"

Dans le monde en constante \u00e9volution de la fabrication de semi-conducteurs, la pr\u00e9cision et l'efficacit\u00e9 sont primordiales. Le polissage m\u00e9cano-chimique (CMP) est un processus critique qui garantit la production de plaquettes de silicium de haute qualit\u00e9, les \u00e9l\u00e9ments constitutifs de l'\u00e9lectronique moderne. Le contr\u00f4le de la composition de la boue de CMP au cours de ce processus est essentiel pour obtenir la qualit\u00e9 souhait\u00e9e pour les plaquettes.<\/p>\n

Les d\u00e9fis de la surveillance des boues de CMP<\/strong><\/p>\n

La boue CMP est un m\u00e9lange complexe d'eau, de particules abrasives et de produits chimiques. Sa composition pr\u00e9cise peut avoir un impact significatif sur le processus de polissage et, en fin de compte, sur la qualit\u00e9 finale de la plaquette. Par cons\u00e9quent, la surveillance en temps r\u00e9el de la composition de la suspension est cruciale pour maintenir la coh\u00e9rence et optimiser le processus CMP.<\/p>\n

Les m\u00e9thodes traditionnelles de contr\u00f4le des boues de CMP impliquent souvent un \u00e9chantillonnage hors ligne et des analyses en laboratoire, qui non seulement prennent du temps et n\u00e9cessitent une main-d'\u0153uvre importante, mais ne refl\u00e8tent pas non plus avec pr\u00e9cision les conditions en temps r\u00e9el de la boue pendant le processus de polissage. Par cons\u00e9quent, les ajustements bas\u00e9s sur ces analyses peuvent \u00eatre trop tardifs, ce qui entra\u00eene un gaspillage de ressources et des r\u00e9sultats moins qu'optimaux.<\/p>\n

Pr\u00e9sentation de la technologie Rhosonics<\/strong><\/p>\n

Rhosonics offre une solution r\u00e9volutionnaire pour la surveillance en ligne et en temps r\u00e9el des boues de CMP. Notre technologie innovante utilise une combinaison unique d'ultrasons et de mesures de conductivit\u00e9 pour fournir des donn\u00e9es pr\u00e9cises et continues sur la composition des boues. Ce retour d'information en temps r\u00e9el permet aux fabricants de semi-conducteurs de garder le contr\u00f4le sur le processus CMP, ce qui se traduit par une am\u00e9lioration de la qualit\u00e9 des plaquettes, une r\u00e9duction des d\u00e9chets et une plus grande efficacit\u00e9.<\/p>\n<\/div>

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Notre Mesure de la concentration chimique (CCM)<\/strong><\/a> est con\u00e7u pour fonctionner en ligne, ce qui permet \u00e0 la boue de circuler dans le syst\u00e8me avant d'atteindre les machines de polissage. Cette configuration offre un avantage significatif par rapport aux m\u00e9thodes d'\u00e9chantillonnage traditionnelles, car elle permet une surveillance et un ajustement continus. Avec le CCM, les fabricants obtiennent des informations sur la densit\u00e9, la concentration et les solides en suspension de la boue en temps r\u00e9el - des capacit\u00e9s consid\u00e9r\u00e9es jusqu'\u00e0 pr\u00e9sent comme inaccessibles.<\/p>\n

Comprendre la mesure des ultrasons<\/strong><\/p>\n

Le syst\u00e8me \u00e0 ultrasons du CCM de Rhosonics fonctionne selon une configuration de r\u00e9flexion avec deux capteurs plac\u00e9s l'un en face de l'autre. Un \u00e9l\u00e9ment pi\u00e9zo\u00e9lectrique fonctionnant \u00e0 2 MHz g\u00e9n\u00e8re des ondes ultrasonores. Lorsque ces ondes rencontrent la boue, une partie des ultrasons est r\u00e9fl\u00e9chie \u00e0 l'interface de phase, tandis qu'une autre partie de l'\u00e9nergie est absorb\u00e9e par la boue. Ce comportement de r\u00e9flexion sert d'\"empreinte digitale\" de la boue, car chaque liquide a sa propre vitesse du son. La diff\u00e9rence d'\u00e9nergie du signal entre les deux mat\u00e9riaux est quantifi\u00e9e par le coefficient de r\u00e9flexion (R), \u00e0 partir duquel l'imp\u00e9dance acoustique du liquide est calcul\u00e9e \u00e0 l'aide de la formule de Sir Rayleigh.<\/p>\n

La vitesse du son, calcul\u00e9e \u00e0 partir du temps de parcours du signal ultrasonore, est un autre param\u00e8tre essentiel. Elle repr\u00e9sente le temps n\u00e9cessaire au signal pour passer de l'\u00e9metteur au r\u00e9cepteur \u00e0 travers le milieu. Cette valeur est r\u00e9v\u00e9latrice de la composition unique de la boue et permet d'\u00e9valuer la concentration et le type de particules pr\u00e9sentes. En d\u00e9terminant l'imp\u00e9dance acoustique et la vitesse du son, nous pouvons calculer avec pr\u00e9cision la densit\u00e9 apparente du lisier, ce qui nous permet d'obtenir un profil en temps r\u00e9el de sa composition.<\/p>\n

Cette approche de mesure ultrasonique change la donne pour la surveillance du CMP, car elle fournit des informations qui vont au-del\u00e0 des simples niveaux de concentration. Elle permet \u00e9galement \u00e0 Rhosonics de mesurer des propri\u00e9t\u00e9s que les outils des concurrents ne peuvent pas mesurer, faisant du CCM le seul appareil sur le march\u00e9 capable d'une analyse en temps r\u00e9el aussi compl\u00e8te.<\/p>\n

Mesure de la conductivit\u00e9 pour une meilleure pr\u00e9cision<\/strong><\/p>\n

Outre la mesure par ultrasons, le syst\u00e8me de conductivit\u00e9 du CCM comporte une bobine d'entra\u00eenement et une bobine de d\u00e9tection. La bobine d'entra\u00eenement, aliment\u00e9e en courant alternatif (CA), g\u00e9n\u00e8re un champ magn\u00e9tique qui induit des courants dans le fluide conducteur. Ces courants produisent un champ magn\u00e9tique secondaire, qui est d\u00e9tect\u00e9 par la bobine de d\u00e9tection. L'intensit\u00e9 du signal induit est en corr\u00e9lation avec la conductivit\u00e9 du fluide et est convertie en valeur de conductivit\u00e9.<\/p>\n

Les donn\u00e9es de conductivit\u00e9 compl\u00e8tent les mesures ultrasoniques en fournissant des informations sur la composition chimique de la suspension, y compris la concentration de produits chimiques sp\u00e9cifiques tels que le peroxyde d'hydrog\u00e8ne (H\u2082O\u2082). Contrairement aux m\u00e9thodes traditionnelles, qui se concentrent souvent sur un seul param\u00e8tre \u00e0 la fois, le CCM de Rhosonics capture simultan\u00e9ment plusieurs aspects de la composition de la suspension, ce qui permet une compr\u00e9hension beaucoup plus compl\u00e8te du processus CMP.<\/p>\n

Avantages uniques de la technologie Rhosonics<\/strong><\/p>\n

Le CCM de Rhosonics offre plusieurs avantages qui en font un atout inestimable pour les fabricants de semi-conducteurs :<\/p>\n