В течение последних нескольких лет полупроводник Промышленность страдала от недостатка предложения. Из-за особенностей высокотехнологичных отраслей, требующих больших инвестиций, полупроводники некоторое время не могли удовлетворить спрос. Потребители хотят использовать в своей повседневной жизни больше "умных" устройств, и они ожидают, что они будут быстрее и мощнее. Коммуникации, бытовая электроника, автомобильная и компьютерная промышленность - все они нуждаются в более совершенных полупроводниках. Кроме того, COVID-19 нарушил все цепочки поставок, что ограничило производство полупроводников. Поэтому производители ищут альтернативные способы улучшить производство, чтобы удовлетворить спрос. Именно поэтому измерение концентрации в полупроводниковой промышленности имеет большое значение.

В каждом производственном процессе технология может изменить ситуацию к лучшему. Внедрение новых технологий может повысить производительность и эффективность процесса. Одной из таких технологий является оборудование для контроля концентрации, которое используется для наблюдения за химическими веществами в процессе производства в режиме реального времени. Измерение концентраций химических веществ с максимальной точностью важно для полупроводник промышленности, поскольку здесь интенсивно используются химические вещества. Информация о процессе может быть проанализирована для внесения улучшений в процесс. При использовании в сочетании с системой управления процессом система может действовать напрямую, если происходят изменения в процессе. Анализатор способствует поддержанию нужных концентраций химических веществ (в пределах желаемых значений), чтобы процесс протекал в оптимальных условиях. Это помогает предотвратить незапланированные простои и повышает качество конечного продукта. Таким образом, компании могут повысить эффективность производственной линии и снизить количество брака.

В процессе производства полупроводников измерение концентрации важно для предотвращения проблем при очистке или мокром травлении.

Этап очистки

После завершения технологического процесса использованные материалы необходимо очистить с помощью химических средств, чтобы предотвратить загрязнение на следующем этапе. Цель этапа очистки - избавиться от остатков предыдущих этапов, которые могут повлиять на работу следующих этапов. Химикаты для очистки должны иметь правильную концентрацию, чтобы эффективно очистить поверхность пластины. В противном случае пластины могут содержать нежелательный органический/неорганический материал. Пластины, которые не были должным образом очищены, не будут иметь желаемого качества после завершения производственной линии. В результате продукт будет считаться бракованным или продаваться как чип с более низкими характеристиками.

Этап разработки

Экспонированные пластины проявляются в ваннах с погружением или путем распыления. В зависимости от типа резиста (негативный или позитивный) обнаженная область удаляется или остается. Этот этап важен для создания идеального рисунка резиста, чтобы контролировать, какая часть подложки будет вытравлена. Рисунок положительного или отрицательного резиста должен совпадать с задуманным. В противном случае на следующем этапе будут удалены не те участки подложки, что приведет к неэффективному продукту.
Как и на каждом этапе производства полупроводников, точность является ключевым фактором для достижения желаемых результатов на этапе разработки. Концентрация проявителя фоторезиста (например, TMAH) должна находиться в оптимальном диапазоне для эффективного удаления фоторезиста в намеченной области.

Например, типичный раствор TMAH должен находиться в концентрации 2,38%-2,62%. Точный анализатор, работающий в режиме реального времени, поможет держать химические свойства под контролем и эффективно работать.

Этап мокрого травления

Мокрое травление (или изотропное травление) - это быстрый способ травления материалов. В процессе мокрого травления используются различные типы химических веществ для создания рисунка на подложке из какого-либо материала (обычно кремниевой пластины). Существует тенденция к созданию более компактных чипсетов, поэтому задача этого процесса заключается в точном создании более сложных рисунков на подложке с использованием правильных концентраций химических веществ.

Чтобы избежать неэффективного травления и очистки подложек, необходимо контролировать концентрацию химикатов. Это позволит избежать использования большего количества химикатов, чем предусмотрено. Меньшее использование химикатов снижает переменные производственные затраты и делает производство более экологичным. Соотношение концентраций можно проверять в режиме реального времени с помощью измерительных приборов, чтобы убедиться, что раствор точно соответствует требуемой смеси.

Ультразвуковая технология Rhosonics обеспечивает лучший контроль за процессом благодаря одновременному мониторингу нескольких концентраций химических веществ в режиме реального времени. Выбор технологии зависит от количества концентраций в химическом растворе, которые необходимо измерить. Rhosonics позволяет достичь точности измерения до ±0,0001 wt%.

Вы уже прочитали, почему измерение концентрации в полупроводниковой промышленности имеет большое значение. Мы знаем, что каждый производственный объект сталкивается с собственными проблемами в области мониторинга и управления технологическими процессами. Наша цель - охватить наиболее распространенные проблемы, связанные с химическими растворами, которые возникают в полупроводниковой промышленности. Если вы хотите узнать больше о нашей продукции, разработанной для полупроводниковой промышленности, пожалуйста связаться с нами.

Хотите получать частые обновления о нашей продукции? Тогда, пожалуйста подписаться на нашу рассылку или следите за нами в социальных сетях по адресу LinkedIn, Twitter и Instagram.