Компания Rhosonics помогает производителям плоскопанельных дисплеев использовать ультразвуковые технологии для поточных измерений в режиме реального времени, благодаря чему достигается оптимизация процессов, обеспечивающая более безопасную, надежную, устойчивую и экономически эффективную работу. Таким образом, Rhosonics вносит свой вклад в создание "умного" и "зеленого" мира.

Компания Rhosonics Analytical предлагает решения для поточного анализа при смешивании химических веществ. Обслуживая практически все отрасли электронной промышленности, поточные анализаторы доступны для следующих применений.

Измеритель концентрации химических веществ CCM

TMAH+PR+CO3

Производство LCD и TFT

Компании широко используют поточные анализаторы процессов Rhosonics в производстве плоскопанельных ЖК-дисплеев. В этой отрасли компании обычно используют травители (ITO-Etch), стрипперы и проявители (такие как TMAH). В промышленности все большее внимание уделяется измерению фоторезиста.

Компания Rhosonics разработала специальный прибор для измерения TMAH+PR (CCM B32). Затем компании используют стрипперы для отшелушивания фоторезиста, оставшегося после процесса фотолитографии. Лимонная кислота часто используется в качестве замены уксусной кислоты, которая обычно оставляет сильный запах в фотолаборатории. Rhosonics может измерять эти типы жидкостей в режиме онлайн, включая моющие средства и поверхностно-активные вещества.

Фотолитография

Измерение концентрации важно в процессе производства плоских дисплеев для предотвращения проблем в процессе очистки или мокрого травления.

Этап очистки

После завершения технологического процесса компании должны очистить использованные материалы с помощью химикатов, чтобы предотвратить загрязнение на следующем этапе. Цель Очистка заключается в удалении остатков с предыдущие шаги, которые могут повлиять на выполнение следующих действий шаги. Кроме того, химические средства для очистки должны обладать нужной концентрацией, чтобы эффективно очистите поверхность пластины. В противном случае пластины могут содержать нежелательные органические/неорганические вещества. Кроме того, вНе очищенные должным образом аферы будут не будет иметь желаемого качества, когда производство линия завершена. В результате продукт будет либо классифицирован как бракованный, либо продан в виде микросхемы с меньшей производительностью.

Этап разработки

Компании разрабатывают открытые пластины в ваннах с погружением или методом напыления. В зависимости от типа резиста (отрицательный или положительный), обнаженная область удаляется или остается. Этот шаг важен для создания идеального рисунка резиста и контроля за тем, какая часть подложки будет вытравлена. Рисунок положительного или отрицательного резиста должен совпадать с желаемым.

В противном случае на следующем этапе будут удалены неправильные участки подложки, что приводит к неэффективному продукту. Как и в случае с любым этап производства в процессе фотолитографии, Точность - ключ к достижению желаемых результатов на стадии разработки. Концентрация проявитель фоторезиста (например, TMAH) должен быть в оптимальном диапазоне для эффективного удаления фоторезиста в намеченной области.

Например, типичный раствор ТМАХ должен содержать концентрация между 2,38% и 2,62%. Точный Анализатор в режиме реального времени помогает поддерживать химические свойства под контролем и эффективно работают.

Этап мокрого травления

Мокрое травление (или изотропное травление) - это быстрый метод травления материалов. Компании используют различные типы химикатов для создания рисунка на подложке из определенного материала (обычно это кремниевые пластины). В настоящее время наблюдается тенденция к созданию более компактных чипсетов, поэтому задача этого процесса заключается в создании более точных и сложных рисунков на подложке с использованием правильных химических концентраций.

Свяжитесь с нами для получения дополнительной информации в Rhosonics. Если вы хотите узнать больше о наших приложениях, то, пожалуйста, ознакомьтесь с нашими дела клиентов и вебинары. Для получения дополнительной информации о компании Rhosonics или наших ультразвуковых анализаторах, пожалуйста, ознакомьтесь с нашими LinkedIn, Instagram, или Twitter страница.