Rhosonics aide l'industrie des écrans plats à utiliser la technologie ultrasonique pour des mesures en ligne et en temps réel, ce qui permet d'optimiser les processus et d'obtenir un fonctionnement plus sûr, plus fiable, plus durable et plus rentable. C'est ainsi que Rhosonics contribue à un monde intelligent et écologique.

Rhosonics Analytical fournit des solutions pour l'analyse en ligne des mélanges chimiques. Au service de pratiquement toutes les industries électroniques, les analyseurs en ligne sont disponibles pour les applications suivantes.

CCM Compteur de concentration chimique

TMAH+PR+CO3

Productions LCD et TFT

Les entreprises utilisent largement les analyseurs de processus en ligne de Rhosonics dans la production d'écrans plats LCD. Dans cette industrie, les entreprises utilisent couramment des produits de gravure (ITO-Etch), des décapants et des révélateurs (tels que le TMAH). L'industrie accorde de plus en plus d'importance à la mesure de la résine photosensible.

Rhosonics a développé un appareil spécial pour mesurer le TMAH+PR (CCM B32). Les entreprises utilisent ensuite des décapants pour exfolier la résine photosensible restée dans le processus de photolithographie. L'acide citrique est souvent utilisé comme substitut à l'acide acétique, qui laisse généralement une forte odeur dans la chambre noire. Rhosonics est en mesure de mesurer ces types de liquides en ligne, y compris les détergents et les surfactants.

Photolithographie

La mesure de la concentration est importante dans le processus de fabrication des écrans plats afin d'éviter les problèmes lors des processus de nettoyage ou de gravure humide.

Étape de nettoyage

Après l'étape du processus, les entreprises doivent nettoyer les matériaux utilisés avec des produits chimiques afin d'éviter toute contamination lors de l'étape suivante. L'objectif de la Le nettoyage consiste à éliminer les résidus de la les étapes précédentes susceptibles d'affecter les performances des étapes suivantes pas. En outre, les produits chimiques de nettoyage doit avoir les bonnes concentrations pour être efficace nettoyer la surface de la plaquette. Sinon, les plaquettes peuvent contenir des matières organiques/inorganiques indésirables. En outre, les wLes piles qui n'ont pas été correctement nettoyées seront n'ont pas la qualité souhaitée lorsque la production est terminée. En conséquence, le produit sera soit classé comme défectueux, soit vendu comme une puce moins performante.

Étape de développement

Les entreprises développent les plaquettes exposées dans des bains d'immersion ou par pulvérisation. Selon le type de réserve (négative ou positive), la zone exposée est enlevée ou reste. Cette étape est importante pour créer un motif de réserve parfait et pour contrôler la partie du substrat qui est gravée. Le motif de la réserve positive ou de la réserve négative doit être le même que celui souhaité.

Dans le cas contraire, l'étape suivante supprime les mauvaises zones du substrat, ce qui se traduit par un produit inefficace. Comme pour tout étape de production dans le processus de photolithographie, la précision est essentielle pour obtenir les résultats souhaités dans la phase de développement. La concentration de le révélateur de résine photosensible (par exemple TMAH) doit être dans une fourchette optimale pour éliminer efficacement les la résine photosensible dans la zone prévue.

Par exemple, une solution typique de TMAH doit présenter les caractéristiques suivantes une concentration comprise entre 2,38% et 2,62%. Une concentration L'analyseur en temps réel permet de garder Les propriétés chimiques sont sous contrôle et fonctionnent efficacement.

Etape de gravure humide

La gravure humide (ou gravure isotropique) est une méthode rapide de gravure des matériaux. Les entreprises utilisent différents types de produits chimiques pour créer un motif sur le substrat d'un matériau donné (généralement des tranches de silicium). Actuellement, la tendance est aux puces plus petites et plus compactes. Le défi de ce processus est donc de créer des motifs plus précis et plus complexes sur le substrat en utilisant les concentrations chimiques adéquates.

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