La tecnología ultrasónica de Rhosonics proporciona una mejor supervisión del proceso al controlar simultáneamente varias concentraciones químicas en tiempo real. La elección de la tecnología depende del número de concentraciones que sea necesario medir en una solución química. Rhosonics puede alcanzar una precisión de medición de hasta ± 0,0001 wt%. Es importante señalar que la tecnología Rhosonics puede utilizarse para medir las siguientes sustancias químicas o concentraciones químicas principales mediante tecnología ultrasónica:

Limpieza y pulido: CMP Slurry, H2O2, HF, NH3, BHF, KOF , HNO3, SC1, SC2, APM, Piraña Solución, HCl, C6H8O7:H20, Agua regia, Yodo Solución, HCl, HNO3, C3H8O (IPA), C3H6O (Acetona), (CH3)2CHOH, APM

Fotoresistencia y Stripping: TMAH, TMAH + PR + CO3, H2SO4:H2O2, SPM, H2Ta2O6, Dimetil sulfóxido (DMSO), CeO2

Grabado: TMAH, TMAH + PR + CO3,TBHA, H2SO4, HF, HNO3, KOH, C2HCl3, HNA

Gracias a la tecnología ultrasónica de Rhosonics, es posible medir prácticamente cualquier tipo de sustancias químicas o soluciones sólidas en los procesos de producción. Aparte de las aplicaciones de semiconductores, los procesos similares en paneles solares y pantallas planas también pueden beneficiarse de la tecnología Rhosonics.

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Medidor de concentración química CCM

TMAH+PR+CO3