A tecnologia ultrassônica da Rhosonics proporciona melhor supervisão do processo ao monitorar simultaneamente várias concentrações químicas em tempo real. A escolha da tecnologia depende do número de concentrações que requerem medição em uma solução química. A Rhosonics pode atingir uma precisão de medição de até ± 0,0001 wt%. É importante observar que a tecnologia Rhosonics pode ser usada para medir os seguintes produtos químicos principais ou concentrações químicas usando tecnologia ultrassônica:

Limpeza e polimento: CMP Slurry, H2O2, HF, NH3, BHF, KOF , HNO3, SC1, SC2, APM, Piranha Solução, HCl, C6H8O7:H20, água régia, iodo Solução, HCl, HNO3, C3H8O (IPA), C3H6O (Acetona), (CH3)2CHOH, APM

Fotoresiste e decapagem: TMAH, TMAH + PR + CO3, H2SO4:H2O2, SPM, H2Ta2O6, Dimetil Sulfóxido (DMSO), CeO2

Gravura: TMAH, TMAH + PR + CO3,TBHA, H2SO4, HF, HNO3, KOH, C2HCl3, HNA

Com a tecnologia ultrassônica da Rhosonics, é possível medir praticamente qualquer tipo de produto químico ou solução sólida nos processos de produção. Além das aplicações em semicondutores, processos semelhantes em painéis solares e monitores de tela plana também podem se beneficiar da tecnologia Rhosonics.

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Medidor de concentração química CCM

TMAH+PR+CO3