半导体

Rhosonics 的超声波技术可同时实时监测多种化学品浓度,从而更好地监督生产过程。技术的选择取决于化学溶液中需要测量的浓度数量。Rhosonics 的测量精度可达 ± 0.0001 wt%。值得注意的是,Rhosonics 技术可用于利用超声波技术测量以下主要化学品或化学品浓度:

清洁和抛光: CMP 泥浆、H2O2、HF、 NH3、BHF、KOF、HNO3、SC1、SC2、APM、食人鱼 溶液、盐酸、C6H8O7:H20、王水、碘 溶液、盐酸、硝酸、C3H8O(IPA)、C3H6O(丙酮)、 (CH3)2CHOH, APM

光阻和剥离: tmah, tmah + pr +CO3、H2SO4:H2O2、SPM、H2Ta2O6、二甲基 亚砜(DMSO)、CeO2

蚀刻 tmah,tmah + pr + co3,tbha,h2so4、 HF、HNO3、KOH、C2HCl3、HNA

利用 Rhosonics 超声波技术,可以测量生产过程中几乎所有类型的化学品或固体溶液。除半导体应用外,太阳能电池板和平板显示器中的类似工艺也可受益于 Rhosonics 技术。

 

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