La technologie ultrasonique de Rhosonics permet de mieux surveiller le processus en contrôlant simultanément plusieurs concentrations chimiques en temps réel. Le choix de la technologie dépend du nombre de concentrations à mesurer dans une solution chimique. Rhosonics peut atteindre une précision de mesure allant jusqu'à ± 0,0001 wt%. Il est important de noter que la technologie Rhosonics peut être utilisée pour mesurer les principaux produits chimiques ou concentrations chimiques suivants à l'aide de la technologie ultrasonique :

Nettoyage et polissage : Boues de CMP, H2O2, HF, NH3, BHF, KOF , HNO3, SC1, SC2, APM, Piranha Solution, HCl, C6H8O7:H20, Aqua regia, Iode Solution, HCl, HNO3, C3H8O (IPA), C3H6O (Acétone), (CH3)2CHOH, APM

Photorésine et décapage : TMAH, TMAH + PR + CO3, H2SO4:H2O2, SPM, H2Ta2O6, Dimethyl Sulfoxyde (DMSO), CeO2

Gravure à l'eau-forte : TMAH, TMAH + PR + CO3, TBHA, H2SO4, HF, HNO3, KOH, C2HCl3, HNA

La technologie ultrasonique de Rhosonics permet de mesurer pratiquement tous les types de produits chimiques ou de solutions solides dans les processus de production. Outre les applications dans le domaine des semi-conducteurs, les processus similaires dans les panneaux solaires et les écrans plats peuvent également bénéficier de la technologie Rhosonics.

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CCM Compteur de concentration chimique

TMAH+PR+CO3