Ультразвуковая технология Rhosonics обеспечивает лучший контроль над процессом благодаря одновременному мониторингу нескольких концентраций химических веществ в режиме реального времени. Выбор технологии зависит от количества концентраций, которые необходимо измерить в химическом растворе. Rhosonics позволяет достичь точности измерения до ±0,0001 wt%. Важно отметить, что технология Rhosonics может быть использована для измерения следующих основных химических веществ или концентраций химических веществ с помощью ультразвуковой технологии:

Чистка и полировка: CMP Slurry, H2O2, HF, NH3, BHF, KOF , HNO3, SC1, SC2, APM, Piranha Раствор, HCl, C6H8O7:H20, Aqua regia, йод Раствор, HCl, HNO3, C3H8O (IPA), C3H6O (ацетон), (CH3)2CHOH, APM

Фоторезист и зачистка: TMAH, TMAH + PR + CO3, H2SO4:H2O2, SPM, H2Ta2O6, диметил Сульфоксид (ДМСО), CeO2

Офорт: ТМАХ, ТМАХ + ПР + СО3, ТБХА, H2SO4, HF, HNO3, KOH, C2HCl3, HNA

С помощью ультразвуковой технологии Rhosonics можно измерять практически любые типы химических веществ или твердых растворов в производственных процессах. Помимо применения в полупроводниковой промышленности, технология Rhosonics также может быть использована в аналогичных процессах при производстве солнечных батарей и плоскопанельных дисплеев.

Читайте также наш блог о 'Измерение концентрации в полупроводниковой промышленности'

Измеритель концентрации химических веществ CCM

TMAH+PR+CO3